異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合
著者
書誌事項
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合
(CMCテクニカルライブラリー, 686 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ)
シーエムシー出版, 2019.4
普及版
- タイトル別名
-
Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合
- タイトル読み
-
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS NEMS センサ CMOSLSI ノ ユウゴウ
大学図書館所蔵 件 / 全31件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
この図書・雑誌をさがす
注記
2012年刊の普及版
文献: 各章末(第31章, 第32章には無し)
内容説明・目次
目次
- 第1編 総論編
- 第2編 プロセス技術編
- 第3編 回路・デバイス設計技術編
- 第4編 NEMS技術編
- 第5編 センサ技術編
- 第6編 RF‐MEMS技術編
- 第7編 エネルギーハーベスト技術編
- 第8編 実装技術編
- 第9編 解析・評価技術編
「BOOKデータベース」 より