よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
（How-nual図解入門）
秀和システム, 2019.12
第3版
- Other Title
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図解入門よくわかる : 最新半導体製造装置の基本と仕組み
半導体製造装置の基本と仕組み : よくわかる最新 : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
- Title Transcription
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ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ : ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル
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Note
参考文献: p261
Description and Table of Contents
Description
製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる！
Table of Contents
- 第１章 半導体製造装置を取り巻く現状
- 第２章 半導体製造装置をファブから理解する
- 第３章 洗浄・乾燥装置
- 第４章 イオン注入装置
- 第５章 熱処理装置
- 第６章 リソグラフィー装置
- 第７章 エッチング装置
- 第８章 成膜装置
- 第９章 平坦化（ＣＭＰ）装置
- 第１０章 検査・測定・解析装置
- 第１１章 後工程装置
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