よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
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書誌事項
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
(How-nual図解入門)
秀和システム, 2019.12
第3版
- タイトル別名
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図解入門よくわかる : 最新半導体製造装置の基本と仕組み
半導体製造装置の基本と仕組み : よくわかる最新 : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
- タイトル読み
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ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ : ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル
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注記
参考文献: p261
内容説明・目次
内容説明
製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる!
目次
- 第1章 半導体製造装置を取り巻く現状
- 第2章 半導体製造装置をファブから理解する
- 第3章 洗浄・乾燥装置
- 第4章 イオン注入装置
- 第5章 熱処理装置
- 第6章 リソグラフィー装置
- 第7章 エッチング装置
- 第8章 成膜装置
- 第9章 平坦化(CMP)装置
- 第10章 検査・測定・解析装置
- 第11章 後工程装置
「BOOKデータベース」 より