単結晶ダイヤモンド製スクライビングホイールによる硬脆単結晶材料ウエハの精密スクライビング・割断の基礎研究
著者
書誌事項
単結晶ダイヤモンド製スクライビングホイールによる硬脆単結晶材料ウエハの精密スクライビング・割断の基礎研究
工作機械技術振興財団, 2019.9
- タイトル読み
-
タンケッショウ ダイヤモンドセイ スクライビング ホイール ニヨル コウゼイ タンケッショウ ザイリョウ ウエハ ノ セイミツ スクライビング・カツダン ノ キソ ケンキュウ
大学図書館所蔵 件 / 全2件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
この図書・雑誌をさがす
注記
工作機械技術振興財団の第39次試験研究助成により行われた研究
試験研究機関: 中部大学工学部機械工学科
試験研究期間: 2018年7月1日〜2019年6月30日
研究協力者: 岡田睦, 福西利夫, 乙部潤二
A-248
不許複製