半導体デバイスにおける界面制御技術 : 固体界面物性と計算機実験の基礎と応用
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半導体デバイスにおける界面制御技術 : 固体界面物性と計算機実験の基礎と応用
内田老鶴圃, 2021.4
- タイトル読み
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ハンドウタイ デバイス ニオケル カイメン セイギョ ギジュツ : コタイ カイメン ブッセイ ト ケイサンキ ジッケン ノ キソ ト オウヨウ
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注記
その他の著者: 篠嶋妥, 永野隆敏, 稲見隆
参考文献: 各章末
内容説明・目次
目次
- 第１章 半導体デバイスの製造プロセス
- 第２章 半導体デバイスにおける材料界面の組織学
- 第３章 固体物性の基礎
- 第４章 半導体デバイスにおける材料界面創製のための計算機実験の基礎
- 第５章 界面組織評価技術
- 第６章 集積回路における界面創製技術
- 第７章 パワーデバイスにおける界面技術
- 第８章 ３次元実装における界面技術
「BOOKデータベース」 より