Extreme ultraviolet lithography

著者

• Levinson, Harry J.

書誌事項

Extreme ultraviolet lithography

Harry J. Levinson

SPIE, c2020]

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BC08247093
• ISBN:
  • 9781510639393
• LCCN: 2020944342
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bellingham
• ページ数/冊数: x, 233 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7872.M3
  • DC23 : 621.381531
• 件名:
  • LCSH : Extreme ultraviolet lithography
  • LCSH : Ultraviolet radiation -- Industrial applications
  • LCSH : Photolithography