3D and circuit integration of MEMS

著者

• 江刺, 正喜 エサシ, マサヨシ

書誌事項

3D and circuit integration of MEMS

Edited by Masayoshi Esashi

Wiley-VCH, c2021

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BC09566916
• ISBN:
  • 9783527346479
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim
• ページ数/冊数: xii, 506 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • DC23 : 621.38152
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Silicon-on-insulator technology
  • LCSH : Integrated circuits
  • LCSH : Metal oxide semiconductors, Complementary