半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

著者

• 宇佐美, 晶 ウサミ, アキラ
• 徳田, 豊 トクダ, ユタカ

書誌事項

半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

宇佐美晶, 徳田豊 [著]

（Basic selection）

リアライズ理工センター, c2006

タイトル別名

半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイムDLTS評価を中心として

タイトル読み

ハンドウタイ デバイス コウテイ ヒョウカ ギジュツ : ライフタイム DLTS ヒョウカ オ チュウシン トシテ

注記

1990年9月刊の複製

背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)

参考文献あり

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BC14399507
• ISBN:
  • 9784898080528
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 628p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BA7433021X