半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

Author(s)

• 宇佐美, 晶 ウサミ, アキラ
• 徳田, 豊 トクダ, ユタカ

Bibliographic Information

半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

宇佐美晶, 徳田豊 [著]

（Basic selection）

リアライズ理工センター, c2006

Other Title

半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイムDLTS評価を中心として

Title Transcription

ハンドウタイ デバイス コウテイ ヒョウカ ギジュツ : ライフタイム DLTS ヒョウカ オ チュウシン トシテ

Note

1990年9月刊の複製

背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)

参考文献あり

• NCID: BC14399507
• ISBN:
  • 9784898080528
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 628p
• Size: 30cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• Subject Headings:
  • BSH : 半導体
• Parent Bibliography ID:
  • BA7433021X