電子波干渉型真空マイクロエレクトロニクス素子の試作研究

著者

• 浅野, 種正 アサノ, タネマサ
• 比嘉, 勝也 ヒガ, カツヤ
• 青木, 誠志 アオキ, サトシ
• 牧平, 憲治 マキヒラ, ケンジ

書誌事項

電子波干渉型真空マイクロエレクトロニクス素子の試作研究

研究代表者 浅野種正

（科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書, 平成6年度）

[九州工業大学マイクロ総合技術センター], 1995.3

タイトル別名

平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書

タイトル読み

デンシハ カンショウガタ シンクウ マイクロ エレクトロニクス ソシ ノ シサク ケンキュウ

注記

課題番号: 05555010

研究分担者: 比嘉勝也, 青木誠志, 牧平憲治

文献: 各論末

• NII書誌ID(NCID): BC18839350
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [飯塚]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BN07858102