フッ素化学

著者

• 半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ
• 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
• 新田, 雄久 ニッタ, カツヒサ

書誌事項

フッ素化学

UCS半導体基盤技術研究会編

（Ultra clean technology series, no.11）

リアライズ社, 1991.8

タイトル読み

フッソ カガク

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• フッ素化学

  1991

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

監修: 大見忠弘, 新田雄久

執筆者: 大見忠弘, 三木正博, 植田守彦ほか

参考文献: 章末

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BD06170949
• ISBN:
  • 4947655453
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 260p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 半導体
  • NDLSH : 弗素
• 親書誌ID:
  • BA46303106