精密計測学 Precision metrology
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精密計測学 = Precision metrology
朝倉書店, 2024.4
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Precision Metrology
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セイミツ ケイソクガク
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Bilingual edition
英文併記
その他の著者: 清水裕樹, 水谷康弘, 道畑正岐, 河野大輔, 吉田一朗, 伊東聡, 清水浩貴
参考文献: p[162]-166
和文索引: p[176]-178
欧文索引: p[179]-182
Description and Table of Contents
Table of Contents
- １ 精密計測の基準
- ２ 長さスケール
- ３ 角度スケール
- ４ 時間スケール
- ５ 幾何形状と表面性状の計測
- ６ 光干渉計
- ７ マシンビジョン
- ８ 空間位置計測
- ９ 光学顕微鏡
- １０ 走査プローブ顕微鏡
- １１ 誤差要因と不確かさ
- １２ 自律校正法
- １３ 機械学習と精密計測
- １４ 超短パルスレーザと光周波数コム
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