X線光電子分光法

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X線光電子分光法

日本表面真空学会編

（表面分析技術選書）

丸善出版, 2025.11

第2版

Other Title

XPS : X-ray photoelectron spectroscopy

X線光電子分光法

Title Transcription

Xセン コウデンシ ブンコウホウ

Available at  / 83 libraries

Note

表現種別: テキスト (ncrcontent), 機器種別: 機器不用 (ncrmedia), キャリア種別: 冊子 (ncrcarrier)

その他のタイトルはブックジャケットによる

引用・参考文献あり

Description and Table of Contents

Description

元素組成と化学状態の定量分析を可能にするＸ線光電子分光法（ＸＰＳ）は、半導体デバイスの微細化、触媒、電池材料、有機薄膜など、先端材料研究の進展に不可欠な分析技術として、その重要性を増している。本書は、実用的なＸＰＳ入門書として好評を博した初版を全面的に改訂した最新版である。理論から測定・解析、そして先端応用事例までを一貫して徹底解説する。１〜５章で、光電子発生の原理、装置構成、試料調製、測定・解析の要点といった、測定者が確実に抑えるべき基礎事項を解説。新設の６章「応用・発展」では、雰囲気測定、イメージング、時間分解測定など、最新の多様な応用事例とその測定例を紹介した。ＸＰＳを初めて学ぶ学生から、実務に携わる研究者まで、すべての方の指針となる必携の一冊。

Table of Contents

  • １　Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）とは何か
  • ２　光電子発生の原理
  • ３　ＸＰＳ装置の原理と基礎
  • ４　測定法
  • ５　データ解析
  • ６　応用・発展

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