入門真空・薄膜・スパッタリング

Author(s)

• Stuart, R. V.
• 毛利, 衛 モウリ, マモル
• 数坂, 昭夫 カズサカ, アキオ

Bibliographic Information

入門真空・薄膜・スパッタリング

R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳

技報堂出版, 1985.10

Other Title

Vacuum technology, thin films, and sputtering

真空・薄幕・スパッタリング : 入門

Title Transcription

ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング

Access to Electronic Resource 1 items

• 入門真空・薄膜・スパッタリング

  1985

  NDL Digital Collections

  Limited

Details

• NCID: BN00148324
• ISBN:
  • 4765503585
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Original Language Code: eng
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 2,2,3,145p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC8 : 534.93
  • NDLC : NB126
• Subject Headings:
  • NDLSH : 真空工学
  • NDLSH : 薄膜