スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

Author(s)

• 金原, 粲 キンバラ, アキラ

Bibliographic Information

スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

金原粲著

東京大学出版会, 1984.3

Title Transcription

スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ

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• スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

  1984

  NDL Digital Collections

  Limited

Note

各章末: 参考文献

一般的参考書: p226

Details

• NCID: BN00164488
• ISBN:
  • 4130610473
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: ix, 231p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC8 : 549
  • NDLC : ND371
  • NDC9 : 549.8
• Subject Headings:
  • NDLSH : 薄膜