スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

著者

• 金原, 粲 キンバラ, アキラ

書誌事項

スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

金原粲著

東京大学出版会, 1984.3

タイトル読み

スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ

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• スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

  1984

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

各章末: 参考文献

一般的参考書: p226

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN00164488
• ISBN:
  • 4130610473
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: ix, 231p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549
  • NDLC : ND371
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • NDLSH : 薄膜