プロセス評価

著者

• 西澤, 潤一 ニシザワ, ジュンイチ

書誌事項

プロセス評価

西澤潤一編

（半導体研究 / 半導体研究振興会編, 17巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 4）

工業調査会, 1981.6

タイトル読み

プロセス ヒョウカ

注記

執筆: 飯塚尚和ほか

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN00182548
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 12, 446p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BN00178314