プロセス評価

Author(s)

• 西澤, 潤一 ニシザワ, ジュンイチ

Bibliographic Information

プロセス評価

西澤潤一編

（半導体研究 / 半導体研究振興会編, 17巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 4）

工業調査会, 1981.6

Title Transcription

プロセス ヒョウカ

Note

執筆: 飯塚尚和ほか

Details

• NCID: BN00182548
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 12, 446p
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDC8 : 549
  • NDLC : ND371
• Subject Headings:
  • NDLSH : 半導体
• Parent Bibliography ID:
  • BN00178314