イオン・インプランテーション : 理論と応用

著者

• 伊藤, 糾次 イトウ, タダツグ

書誌事項

イオン・インプランテーション : 理論と応用

伊藤糾次 [ほか] 共著

昭晃堂, 1976.10

タイトル読み

イオン インプランテーション : リロン ト オウヨウ

注記

文献: 各章末

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN00182967
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 3, 271, 7p, 図版1枚
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC6 : 549
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 半導体