イオン・インプランテーション : 理論と応用

Author(s)

• 伊藤, 糾次 イトウ, タダツグ

Bibliographic Information

イオン・インプランテーション : 理論と応用

伊藤糾次 [ほか] 共著

昭晃堂, 1976.10

Title Transcription

イオン インプランテーション : リロン ト オウヨウ

Note

文献: 各章末

Details

• NCID: BN00182967
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 3, 271, 7p, 図版1枚
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC6 : 549
  • NDLC : ND371
• Subject Headings:
  • NDLSH : 半導体