プラズマと成膜の基礎

著者

• 小沼, 光晴 コヌマ, ミツハル

書誌事項

プラズマと成膜の基礎

小沼光晴著

日刊工業新聞社, 1986.8

タイトル読み

プラズマ ト セイマク ノ キソ

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• プラズマと成膜の基礎

  1986

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

各章末: 文献

内容説明・目次

目次

• 第１章　プラズマの概念と状態
• 第２章　プラズマ中の反応
• 第３章　低温プラズマの発生
• 第４章　プラズマ診断
• 第５章　低温プラズマと成膜
• 第６章　スパッタデポジションとイオンプレーティング
• 第７章　プラズマＣＶＤとプラズマ重合
• 第８章　低温プラズマによる表面改質

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN00233219
• ISBN:
  • 4526020656
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: iv, 202, iiip
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 427.6
  • NDC8 : 431.7
  • NDC7 : 427.5
• 件名:
  • BSH : プラズマ
  • NDLSH : プラズマ