電子・イオンビームハンドブック
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電子・イオンビームハンドブック
日刊工業新聞社, 1986.9
第2版
- Other Title
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電子イオンビームハンドブック
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デンシ イオン ビーム ハンドブック
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電子・イオンビームハンドブック
1986
Limited -
電子・イオンビームハンドブック
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Note
文献: 各章末
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 1 電子・イオンの軌道論(幾何光学)
- 2 軌道の数値解析
- 3 レンズ
- 4 偏向
- 5 電子銃
- 6 イオン源・イオン銃
- 7 走行時間効果とパルスビーム
- 8 ビーム系の測定
- 9 電子・イオンビームの照射効果
- 10 電子ビーム溶接
- 11 電子ビーム加工および記録
- 12 電子ビーム励起レーザ
- 13 電子・イオンビーム露光
- 14 電子・イオンビーム重合・分解
- 15 プラズマエッチング、反応性イオンエッチング
- 16 イオンビームエッチング、反応性イオンビームエッチング
- 17 スパッタ蒸着
- 18 イオンプレーティング
- 19 イオンビーム蒸着
- 20 イオン注入
- 21 電子・イオンプローブ
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