微細加工のはなし

著者

• 高梨, 明紘 タカナシ, アキヒロ

書誌事項

微細加工のはなし

高梨明紘著

（Science and technology）

日刊工業新聞社, 1986.4

タイトル読み

ビサイ カコウ ノ ハナシ

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• 微細加工のはなし

  1986

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

各章末:文献

内容説明・目次

目次

• 第１章　はじめに
• 第２章　急速に微細化した電子素子
• 第３章　トランジスタのできるまで
• 第４章　超ＬＳＩを支える微細加工技術
• 第５章　長い歴史を有する機械加工技術
• 第６章　新しく活躍が期待される加工法
• 第７章　微細部品加工とマイクロメカニズム

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN00356285
• ISBN:
  • 4526020184
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 159p
• 大きさ: 19cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : 集積回路
  • NDLSH : 機械工作
• 親書誌ID:
  • BN00032079