微細加工のはなし
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微細加工のはなし
(Science and technology)
日刊工業新聞社, 1986.4
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ビサイ カコウ ノ ハナシ
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微細加工のはなし
1986
限定公開 -
微細加工のはなし
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各章末:文献
内容説明・目次
目次
- 第1章 はじめに
- 第2章 急速に微細化した電子素子
- 第3章 トランジスタのできるまで
- 第4章 超LSIを支える微細加工技術
- 第5章 長い歴史を有する機械加工技術
- 第6章 新しく活躍が期待される加工法
- 第7章 微細部品加工とマイクロメカニズム
「BOOKデータベース」 より