微細加工のはなし

Author(s)

• 高梨, 明紘 タカナシ, アキヒロ

Bibliographic Information

微細加工のはなし

高梨明紘著

（Science and technology）

日刊工業新聞社, 1986.4

Title Transcription

ビサイ カコウ ノ ハナシ

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• 微細加工のはなし

  1986

  NDL Digital Collections

  Limited

Note

各章末:文献

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１章　はじめに
• 第２章　急速に微細化した電子素子
• 第３章　トランジスタのできるまで
• 第４章　超ＬＳＩを支える微細加工技術
• 第５章　長い歴史を有する機械加工技術
• 第６章　新しく活躍が期待される加工法
• 第７章　微細部品加工とマイクロメカニズム

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Details

• NCID: BN00356285
• ISBN:
  • 4526020184
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 159p
• Size: 19cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• Subject Headings:
  • NDLSH : 集積回路
  • NDLSH : 機械工作
• Parent Bibliography ID:
  • BN00032079