光・プラズマプロセシング

著者

書誌事項

光・プラズマプロセシング

明石和夫, 服部秀三, 松本修編

日刊工業新聞社, 1986.9

タイトル別名

光プラズマプロセシング

タイトル読み

ヒカリ プラズマ プロセシング

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注記

文献: 章末

内容説明・目次

目次

  • １　非平衡プラズマの基礎
  • ２　プラズマ診断
  • ３　光によるイオン化・励起と反応
  • ４　熱プラズマの基礎と診断
  • ５　プラズマＣＶＤの基礎
  • ６　プラズマＣＶＤプロセス
  • ７　光ＣＶＤ
  • ８　プラズマ重合
  • ９　有機材料のプラズマ表面処理
  • １０　プラズマエッチングの基礎
  • １１　プラズマエッチングプロセス
  • １２　光エッチング
  • １３　プラズマ表面反応
  • １４　気相熱プラズマプロセス
  • １５　プラズマ製錬・プラズマ溶解
  • １６　プラズマ表面処理プロセス

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BN00432780
  • ISBN
    • 4526020788
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    xii, 370, viip
  • 大きさ
    22cm
  • 分類
  • 件名
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