光・プラズマプロセシング

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光・プラズマプロセシング

明石和夫, 服部秀三, 松本修編

日刊工業新聞社, 1986.9

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光プラズマプロセシング

Title Transcription

ヒカリ プラズマ プロセシング

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Note

文献: 章末

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • １　非平衡プラズマの基礎
  • ２　プラズマ診断
  • ３　光によるイオン化・励起と反応
  • ４　熱プラズマの基礎と診断
  • ５　プラズマＣＶＤの基礎
  • ６　プラズマＣＶＤプロセス
  • ７　光ＣＶＤ
  • ８　プラズマ重合
  • ９　有機材料のプラズマ表面処理
  • １０　プラズマエッチングの基礎
  • １１　プラズマエッチングプロセス
  • １２　光エッチング
  • １３　プラズマ表面反応
  • １４　気相熱プラズマプロセス
  • １５　プラズマ製錬・プラズマ溶解
  • １６　プラズマ表面処理プロセス

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Details

  • NCID
    BN00432780
  • ISBN
    • 4526020788
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    xii, 370, viip
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
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