薄膜の基本技術

著者

• 金原, 粲 キンバラ, アキラ

書誌事項

薄膜の基本技術

金原粲著

（物理工学実験, 5）

東京大学出版会, 1976.12

タイトル読み

ハクマク ノ キホン ギジュツ

注記

参考書: p130-131

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN00580937
• ISBN:
  • 4130630253
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 148p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC6 : 549
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 薄膜
• 親書誌ID:
  • BN00057706