半導体プラズマプロセス技術

Author(s)

• 菅野, 卓雄 スガノ, タクオ

Bibliographic Information

半導体プラズマプロセス技術

菅野卓雄編著

（集積回路プロセス技術シリーズ）

産業図書, 1980.7

Title Transcription

ハンドウタイ プラズマ プロセス ギジュツ

Note

各章末:参考文献

Details

• NCID: BN0059785X
• ISBN:
  • 4782856210
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 6, 373p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC6 : 549.7
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• Subject Headings:
  • NDLSH : 集積回路
• Parent Bibliography ID:
  • BN00597860