超LSI時代のプラズマ化学

著者

• 電子材料編集部 デンシ ザイリョウ ヘンシュウブ

書誌事項

超LSI時代のプラズマ化学

「電子材料」編集部編

工業調査会, 1983.9

タイトル読み

チョウ LSI ジダイ ノ プラズマ カガク

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• 超LSI時代のプラズマ化学

  1983

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

参考文献: 各章末

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN00621353
• ISBN:
  • 4769310315
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 6, 213p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 431.7
  • NDLC : PA181
  • NDLC : MC241
• 件名:
  • NDLSH : プラズマ