半導体リソグラフィ技術

Author(s)

• 鳳, 紘一郎 ホウ, コウイチロウ
• 藤重, 昇永 フジシゲ, ショウエイ
• 杉山, 尚志 スギヤマ, ナオシ
• 右高, 正俊 ミギタカ, マサトシ
• 清水, 啓三 シミズ, ケイゾウ

Bibliographic Information

半導体リソグラフィ技術

鳳紘一郎編著

（集積回路プロセス技術シリーズ）

産業図書, 1984.7

Title Transcription

ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ

Note

執筆者: 鳳紘一郎, 藤重昇永, 杉山尚志, 右高正俊, 清水啓三

各章末:文献

Details

• NCID: BN00625070
• ISBN:
  • 4782856237
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 221p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• Subject Headings:
  • NDLSH : 集積回路
• Parent Bibliography ID:
  • BN00597860