循環流動層を用いたモノシランガスからの多結晶シリコン製造に関する基礎的研究
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循環流動層を用いたモノシランガスからの多結晶シリコン製造に関する基礎的研究
〔東京大学〕, 1987
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ジュンカン リュウドウソウ オ モチイタ モノシランガス カラノ タケッショウ シリコン セイゾウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
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注記
昭和60年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書(課題番号60550659)