プロセス・デバイス・シミュレーション技術

著者

• 壇, 良 ダン, リョウ

書誌事項

プロセス・デバイス・シミュレーション技術

壇良編著

（集積回路プロセス技術シリーズ）

産業図書, 1988.3

タイトル読み

プロセス デバイス シミュレーション ギジュツ

内容説明・目次

目次

• １　プロセス・デバイス・シミュレーション入門
• ２　プロセス・モデリング
• ３　デバイス・シミュレーション
• ４　粒子モデルによるデバイス・シミュレーション
• ５　プロセス・デバイス・シミュレーション・システム
• ６　量子力学的考察の必要性

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN02222235
• ISBN:
  • 4782856261
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 297p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体
  • BSH : 集積回路
• 親書誌ID:
  • BN00597860