プロセス・デバイス・シミュレーション技術
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プロセス・デバイス・シミュレーション技術
(集積回路プロセス技術シリーズ)
産業図書, 1988.3
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プロセス デバイス シミュレーション ギジュツ
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内容説明・目次
目次
- 1 プロセス・デバイス・シミュレーション入門
- 2 プロセス・モデリング
- 3 デバイス・シミュレーション
- 4 粒子モデルによるデバイス・シミュレーション
- 5 プロセス・デバイス・シミュレーション・システム
- 6 量子力学的考察の必要性
「BOOKデータベース」 より