SEMIテクノロジーシンポジウム '88講演予稿集 : 0.5μm時代への挑戦

著者

• Semiconductor Equipment and Materials Institute

書誌事項

SEMIテクノロジーシンポジウム '88講演予稿集 : 0.5μm時代への挑戦

SEMI, [1988?]

タイトル別名

SEMI-Technology Symposium '88 proceedings : breakthrough technology toward half-micron geometry

Technical proceedings SEMICON/Japan 1988

タイトル読み

SEMI テクノロジー シンポシウム '88 コウエン ヨコウシュウ : 0.5μm ジダイ エノ チョウセン

注記

"November 28-30, Toranomon Pastoral, Tokyo, Japan"

• NII書誌ID(NCID): BN02996470
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: v,494p
• 大きさ: 28cm