SEMIテクノロジーシンポジウム '88講演予稿集 : 0.5μm時代への挑戦

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Bibliographic Information

SEMIテクノロジーシンポジウム '88講演予稿集 : 0.5μm時代への挑戦

SEMI, [1988?]

Other Title

SEMI-Technology Symposium '88 proceedings : breakthrough technology toward half-micron geometry

Technical proceedings SEMICON/Japan 1988

Title Transcription

SEMI テクノロジー シンポシウム '88 コウエン ヨコウシュウ : 0.5μm ジダイ エノ チョウセン

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Note

"November 28-30, Toranomon Pastoral, Tokyo, Japan"

Details

  • NCID
    BN02996470
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    v,494p
  • Size
    28cm
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