フォトポリマー・テクノロジー
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フォトポリマー・テクノロジー
日刊工業新聞社, 1988.12
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フォトポリマー テクノロジー
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内容説明・目次
内容説明
フォトポリマーの歴史は古く１９世紀前半にさかのぼる。もともと、印刷製版や金属のエッチング加工の材料として用いられていたが、電子工業の分野で各種デバイスや半導体製造に用いられるようになり、現在では先端材料として見なされるにいたっている。本書はできるだけ最新の情報を盛り込んだ、フォトポリマー全般の解説書となることを目標とした。
目次
- １ フォトポリマーの基礎
- ２ フォトポリマーの光化学
- ３ フォトポリマーの光学と物理化学
- ４ フォトポリマーにおける計測と制御
- ５ フォトポリマー用光源・装置
- ６ フォトポリマー応用技術
- ７ マイクロリソグラフィ
「BOOKデータベース」 より