VLSI製造技術 : サブミクロン時代に向かう最先端MOS技術のすべて

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VLSI製造技術 : サブミクロン時代に向かう最先端MOS技術のすべて

徳山巍, 橋本哲一編著

日経BP社, 1989.1

Other Title

VLSI製造技術

Title Transcription

VLSI セイゾウ ギジュツ : サブミクロン ジダイ ニ ムカウ サイセンタン MOS ギジュツ ノ スベテ

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Note

各章末: 参考文献

索引: p323-326

Details

  • NCID
    BN03227289
  • ISBN
    • 4822270556
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    vi, 325p
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
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