VLSI製造技術 : サブミクロン時代に向かう最先端MOS技術のすべて

著者

• 徳山, 巍 トクヤマ, タカシ
• 橋本, 哲一 ハシモト, ノリカズ

書誌事項

VLSI製造技術 : サブミクロン時代に向かう最先端MOS技術のすべて

徳山巍, 橋本哲一編著

日経BP社, 1989.1

タイトル別名

VLSI製造技術

タイトル読み

VLSI セイゾウ ギジュツ : サブミクロン ジダイ ニ ムカウ サイセンタン MOS ギジュツ ノ スベテ

注記

各章末: 参考文献

索引: p323-326

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN03227289
• ISBN:
  • 4822270556
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vi, 325p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : 集積回路