微細加工 : サブミクロン素子への展開

著者

• 中野, 朝安 ナカノ, トモヤス

書誌事項

微細加工 : サブミクロン素子への展開

中野朝安 [ほか] 著

東京電機大学出版局, 1989.3

タイトル読み

ビサイ カコウ : サブミクロン ソシ エノ テンカイ

内容説明・目次

目次

• 微細加工の歴史
• 微細加工
• 半導体の微細加工
• 微細加工の発達
• 成膜技術
• 大規模集積回路の作成法
• 集積回路の設計
• 微細加工の限界

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN03301767
• ISBN:
  • 4501313307
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vi, 240p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • BSH : 集積回路