精密位置決め技術 : その設計テクニック

Author(s)

• 井沢, 実 イザワ, ミノル

Bibliographic Information

精密位置決め技術 : その設計テクニック

井沢実編著

工業調査会, 1989.4

Title Transcription

セイミツ イチギメ ギジュツ : ソノ セッケイ テクニック

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１編　総論（精密位置決めの意義と問題点）
• 第２編　精密位置決め系の構成要素（アクチュエータ；運動伝達要素；案内用要素；位置検出用要素）
• 第３編　精密位置決めのための制御系（制御方式と特長；制御系の実際）
• 第４編　精密位置決めの主な問題点と対策（振動問題と対策；剛性の問題と対策）
• 第５編　精密位置決めの設計例（ＳＴＭ〈走査型トンネル顕微鏡〉；非球面加工機；光ディスクマスタリング装置；半導体製造用装置；精密測定器〈真円度測定器〉）

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Details

• NCID: BN0336339X
• ISBN:
  • 476932085X
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 362p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC8 : 548.3
  • NDLC : M131
• Subject Headings:
  • NDLSH : 自動制御