合金組成比を任意に制御できる低温・高速スパッタ装置の開発研究
著者
書誌事項
合金組成比を任意に制御できる低温・高速スパッタ装置の開発研究
金沢大学工学部, 1989.3
- タイトル読み
-
ゴウキン ソセイヒ オ ニンイ ニ セイギョ デキル テイオン コウソク スパッタ ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ
大学図書館所蔵 全1件
  青森
  岩手
  宮城
  秋田
  山形
  福島
  茨城
  栃木
  群馬
  埼玉
  千葉
  東京
  神奈川
  新潟
  富山
  石川
  福井
  山梨
  長野
  岐阜
  静岡
  愛知
  三重
  滋賀
  京都
  大阪
  兵庫
  奈良
  和歌山
  鳥取
  島根
  岡山
  広島
  山口
  徳島
  香川
  愛媛
  高知
  福岡
  佐賀
  長崎
  熊本
  大分
  宮崎
  鹿児島
  沖縄
  韓国
  中国
  タイ
  イギリス
  ドイツ
  スイス
  フランス
  ベルギー
  オランダ
  スウェーデン
  ノルウェー
  アメリカ
この図書・雑誌をさがす
注記
昭和63年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書
[研究課題番号]:61850050