表面と薄膜分析技術の基礎

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表面と薄膜分析技術の基礎

L.C.フェルドマン, J.W.メイヤー著 ; 栗山一男,山本康博訳

海文堂, 1989.6

Other Title

Fundamentals of surface and thin film analysis

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ヒョウメン ト ハクマク ブンセキ ギジュツ ノ キソ

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Note

文献:各章末

Description and Table of Contents

Description

本書では、イオン、電子、光子等の固体内の振舞いを示すとともに、その結果として生ずる現象を材料分析に応用する際の理論的根拠、分析を行うための装置構成、さらには実際の分析を行う際に遭遇するであろう問題点を、豊富な例題をまじえて解説している。

Table of Contents

  • １章　序章—概念、単位、そしてボーア原子
  • ２章　原子衝突と後方散乱法
  • ３章　軽イオンのエネルギー損失と深さプロファイル
  • ４章　スパッタによる深さプロファイル—２次イオン質量分析法
  • ５章　チャネリング
  • ６章　電子‐電子相互作用と分子分光法の深さ感度
  • ７章　表面構造解析
  • ８章　固体中の光子吸収とＥＸＡＦＳ
  • ９章　Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）
  • １０章　放射遷移と電子マイクロプローブ
  • １１章　非放射遷移とオージェ電子分光法
  • １２章　核技術—放射化分析と即発放射線分析

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Details

  • NCID
    BN03575514
  • ISBN
    • 4303712000
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Original Language Code
    eng
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    xii, 353p
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
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