超微細加工入門

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超微細加工入門

古川静二郎, 浅野種正共著

オーム社, 1989.6

Title Transcription

チョウビサイ カコウ ニュウモン

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Note

各章末: 参考文献

Description and Table of Contents

Description

本書は、今日のＩＣの基本技術となっている、この微細加工技術を原理から説き起こし、わかりやすく解説したものである。しかも、所々にＱ＆Ａをはさみ、その理解を助けるような工夫をこらしている。さらに、現在の技術だけではなく、将来実用になりそうな技術およびこの加工法が単にＩＣ製作にとどまるものではないことのイメージを与える説明を加えてある。

Table of Contents

  • １章　固体デバイスと微細加工
  • ２章　露光
  • ３章　エッチング
  • ４章　ドーピング
  • ５章　膜の形成
  • ６章　微細素子作製技術
  • ７章　検査・評価技術およびクリーンルーム
  • ８章　Ｓｉ微細加工技術の新しい応用

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Details

  • NCID
    BN03592433
  • ISBN
    • 4274032477
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    viii, 219p
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
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