超微細加工入門

著者

• 古川, 静二郎 フルカワ, セイジロウ
• 浅野, 種正 アサノ, タネマサ

書誌事項

超微細加工入門

古川静二郎, 浅野種正共著

オーム社, 1989.6

タイトル読み

チョウビサイ カコウ ニュウモン

注記

各章末: 参考文献

内容説明・目次

内容説明

本書は、今日のＩＣの基本技術となっている、この微細加工技術を原理から説き起こし、わかりやすく解説したものである。しかも、所々にＱ＆Ａをはさみ、その理解を助けるような工夫をこらしている。さらに、現在の技術だけではなく、将来実用になりそうな技術およびこの加工法が単にＩＣ製作にとどまるものではないことのイメージを与える説明を加えてある。

目次

• １章　固体デバイスと微細加工
• ２章　露光
• ３章　エッチング
• ４章　ドーピング
• ５章　膜の形成
• ６章　微細素子作製技術
• ７章　検査・評価技術およびクリーンルーム
• ８章　Ｓｉ微細加工技術の新しい応用

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN03592433
• ISBN:
  • 4274032477
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: viii, 219p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC7 : 549.8
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • BSH : 集積回路