薄膜材料工学

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薄膜材料工学

北田正弘, 入戸野修, 大坂敏明編著

海文堂出版, 1989.11

Other Title

薄膜材料工学

Title Transcription

ハクマク ザイリョウ コウガク

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Note

文献: 各章末

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 第１章　薄膜の特徴
  • 第２章　薄膜の形成法
  • 第３章　薄膜の形成過程
  • 第４章　薄膜の基礎物性
  • 第５章　薄膜の構造と欠陥
  • 第６章　薄膜の評価法
  • 第７章　金属薄膜とその応用
  • 第８章　半導体薄膜とその応用
  • 第９章　セラミックス薄膜とその応用
  • 第１０章　高分子薄膜とその応用

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Details

  • NCID
    BN04012255
  • ISBN
    • 4303712604
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    vi, 254p
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
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