ダイヤモンド薄膜 : 非平衡状態からの出発
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ダイヤモンド薄膜 : 非平衡状態からの出発
(表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編, 10)
共立出版, 1990.1
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ダイヤモンド ハクマク : ヒヘイコウ ジョウタイ カラ ノ シュッパツ
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Library & Science Information Center, Osaka Prefecture University
NDC8:501.4||130||1010009153259
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Note
叢書の編者: 日本表面科学会
文献: p[116]-122
Description and Table of Contents
Description
ダイヤモンドの安定状態である高温・高圧下での合成に代わって、1980年代に入ってダイヤモンドの準安定状態での合成が多くの研究者達の興味をひきはじめた。高圧合成では粒子状のダイヤモンドが成長するが、低圧気相合成では膜状のダイヤモンドを成長させることが可能である。応用面から見て、膜状のダイヤモンドを高速で成長させられれば、利用範囲は非常に広がると予想される。この書ではダイヤモンド合成に関係した歴史的流れ、最近の低圧気相合成の進歩と得られた結果等についてまとめてみた。
Table of Contents
- ダイヤモンドに関係した歴史的発見(1955年以前のいくつかの話;ダイヤモンド高圧合成の出発;低圧下でのダイヤモンド合成の試み)
- ダイヤモンドの物理(炭素同素体の構造と結合様式;ダイヤモンドの結晶学;ダイヤモンドの物性)
- 低圧下でのダイヤモンド合成—気相成長法(ダイヤモンド低圧合成の流れ;CVD法によるダイヤモンド合成の実際;低圧気相合成で得られた結果)
- 低圧合成ダイヤモンドの評価(結晶学的評価;化学結合に関する評価;物性価による評価)
- まとめ(ダイヤモンド薄膜のいくつかの利用例;ダイヤモンド薄膜を利用したデバイス;ダイヤモンド薄膜のゆくえ;これからのこと)
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