ダイヤモンド薄膜 : 非平衡状態からの出発

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ダイヤモンド薄膜 : 非平衡状態からの出発

犬塚直夫著

（表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編, 10）

共立出版, 1990.1

タイトル読み

ダイヤモンド ハクマク : ヒヘイコウ ジョウタイ カラ ノ シュッパツ

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注記

叢書の編者: 日本表面科学会

文献: p[116]-122

内容説明・目次

内容説明

ダイヤモンドの安定状態である高温・高圧下での合成に代わって、１９８０年代に入ってダイヤモンドの準安定状態での合成が多くの研究者達の興味をひきはじめた。高圧合成では粒子状のダイヤモンドが成長するが、低圧気相合成では膜状のダイヤモンドを成長させることが可能である。応用面から見て、膜状のダイヤモンドを高速で成長させられれば、利用範囲は非常に広がると予想される。この書ではダイヤモンド合成に関係した歴史的流れ、最近の低圧気相合成の進歩と得られた結果等についてまとめてみた。

目次

  • ダイヤモンドに関係した歴史的発見（１９５５年以前のいくつかの話；ダイヤモンド高圧合成の出発；低圧下でのダイヤモンド合成の試み）
  • ダイヤモンドの物理（炭素同素体の構造と結合様式；ダイヤモンドの結晶学；ダイヤモンドの物性）
  • 低圧下でのダイヤモンド合成—気相成長法（ダイヤモンド低圧合成の流れ；ＣＶＤ法によるダイヤモンド合成の実際；低圧気相合成で得られた結果）
  • 低圧合成ダイヤモンドの評価（結晶学的評価；化学結合に関する評価；物性価による評価）
  • まとめ（ダイヤモンド薄膜のいくつかの利用例；ダイヤモンド薄膜を利用したデバイス；ダイヤモンド薄膜のゆくえ；これからのこと）

「BOOKデータベース」 より

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