コンピュータによるシリコンテクノロジー
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コンピュータによるシリコンテクノロジー
海文堂出版, 1990.4-1990.5
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- タイトル読み
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コンピュータ ニヨル シリコン テクノロジー
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注記
1の執筆者: 浜田典昭ほか
2の執筆者: 押山淳ほか
文献: 各章末
内容説明・目次
- 巻冊次
-
1 ISBN 9784303713805
目次
- 1 バルクの電子構造
- 2 シリコンクラスタ
- 3 シリコンポリマ
- 4 アモルファスシリコンの構造と電子状態
- 5 アモルファスシリコン(実験)
- 6 原子間力とその応用
- 7 シリコンMBE成長とRHEED強度振動
- 8 シリコン融体および結晶成長のシミュレーション
- 9 SiO〓2の多形構造のシミュレーション
- 10 転位
- 巻冊次
-
2 ISBN 9784303714000
目次
- 1 点欠陥・不純物の拡散と電子構造
- 2 シリコンの点欠陥と拡散—実験
- 3 深い不純物準位の電子構造の計算と物質設計
- 4 シリコン中の酸素析出プロセス
- 5 FZおよびCZシリコン結晶中の点欠陥の挙動
- 6 シリコン中の結晶粒界の原子構造と電子構造
- 7 太陽電池のシミュレーション
- 8 シリコン・シリサイド界面—理論
- 9 SiO〓2/Si界面状態と素子特性
- 10 シリコンデバイスのシミュレーション
「BOOKデータベース」 より