VLSIプロセス装置ハンドブック

著者

• 前田, 和夫 マエダ, カズオ

書誌事項

VLSIプロセス装置ハンドブック

前田和夫著

工業調査会, 1990.6

タイトル読み

VLSI プロセス ソウチ ハンドブック

内容説明・目次

目次

• 第１章　総論
• 第２章　半導体デバイスの製造プロセス
• 第３章　半導体製造装置の概要
• 第４章　半導体製造装置各論
• 第５章　半導体製造装置の開発
• 第６章　半導体製造装置の導入
• 第７章　半導体製造ラインの構成
• 第８章　半導体製造装置の将来展望

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN04988291
• ISBN:
  • 4769310803
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xv, 607p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体