VLSIプロセス装置ハンドブック

Author(s)

• 前田, 和夫 マエダ, カズオ

Bibliographic Information

VLSIプロセス装置ハンドブック

前田和夫著

工業調査会, 1990.6

Title Transcription

VLSI プロセス ソウチ ハンドブック

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１章　総論
• 第２章　半導体デバイスの製造プロセス
• 第３章　半導体製造装置の概要
• 第４章　半導体製造装置各論
• 第５章　半導体製造装置の開発
• 第６章　半導体製造装置の導入
• 第７章　半導体製造ラインの構成
• 第８章　半導体製造装置の将来展望

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Details

• NCID: BN04988291
• ISBN:
  • 4769310803
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: xv, 607p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
• Subject Headings:
  • BSH : 半導体