薄膜のプロセッシング

著者

• 井上, 知泰 イノウエ, トモヤス
• 犬塚, 直夫 イヌズカ, タダオ
• 伊藤, 糾次 イトウ, タダツグ

書誌事項

薄膜のプロセッシング

井上知泰著

（エレクトロニクスと材料 / 犬塚直夫, 伊藤糾次編, 5）

早稲田大学出版部, 1990.9

タイトル読み

ハクマク ノ プロセッシング

内容説明・目次

内容説明

エレクトロニクスにおける重要な材料の一つが薄膜である。ＬＳＩからＵＬＳＩにいたる薄膜の加工方法を分類し詳細に解説した本書は、読者が薄膜プロセスの基本と問題点を理解し、さらに新しい薄膜応用にチャレンジするための手引となろう。

目次

• ウェーハ表面のクリーニング
• 酸化膜と窒化膜の形成
• リソグラフィ
• 不純物ドーピングとメタライゼーション
• プロセスの問題点

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN05547666
• ISBN:
  • 4657909363
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vii,125p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC8 : 549
• 件名:
  • BSH : 薄膜
  • NDLSH : 薄膜
• 親書誌ID:
  • BN05190430