電子顕微鏡で観るLSIの世界 : LSIはこうして生まれる
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電子顕微鏡で観るLSIの世界 : LSIはこうして生まれる
日刊工業新聞社, 1990.11
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デンシ ケンビキョウ デ ミル LSI ノ セカイ : LSI ワ コウシテ ウマレル
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Table of Contents
- 写真編（ＬＳＩの素顔；ＬＳＩの出来るまで；電子顕微鏡でＬＳＩの動作を観る；電子顕微鏡装置）
- 解説編（ＬＳＩの素顔；ＬＳＩの出来るまで；電子顕微鏡でＬＳＩの動作を観る；最近のトピックス）
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