薄膜作製ハンドブック

著者

• 応用物理学会薄膜・表面物理分科会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ハクマク ヒョウメン ブツリ ブンカカイ

書誌事項

薄膜作製ハンドブック

応用物理学会薄膜・表面物理分科会編

共立出版, 1991.3

タイトル読み

ハクマク サクセイ ハンドブック

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• 薄膜作製ハンドブック

  1991

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

文献: 各章末

内容説明・目次

内容説明

現在用いられている薄膜作製法を学問的見地から集大成。薄膜作製の基礎となる確立された事項の解説と新しい技術の紹介との両方をバランスよく、かつ具体的に記載。学問的・技術的に高度な水準を保持し、初学者から第一線研究者にまで役立つ寿命の長いハンドブックトして編纂。

目次

• 第１編　基礎（真空技術；蒸発現象；気相反応；薄膜成長；エピタキシャル成長；液相エピタキシャル成長法の基礎理論；膜厚測定；分析・評価技術）
• 第２編　薄膜作製法（ＰＶＤ；ＣＶＤ；その他の技術）

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BN06104150
• ISBN:
  • 4320084934
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xiii, 380p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • BSH : 薄膜
  • NDLSH : 薄膜