ULSIプロセスの基礎技術
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ULSIプロセスの基礎技術
（Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集, . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編||ザイリョウ コウガクヘン ; M08）
丸善, 1991.3
- タイトル読み
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ULSI プロセス ノ キソ ギジュツ
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内容説明・目次
内容説明
本書はＵＬＳＩプロセスに関連するあらゆる技術を幅広く網羅し、それぞれの分野の第一人者が各章の執筆を担当している。２１世紀に向けてシリコン加工技術がどのように発展し、ＵＬＳＩはどこまで進むのか、今後解決されるべき問題は何か、そのすべてを展望する。
目次
- １章 ＵＬＳＩ基礎技術の展望
- ２章 光リソグラフィー
- ３章 Ｘ線リソグラフィー
- ４章 ドライエッチング
- ５章 薄膜形成技術
- ６章 集束イオンビーム技術
- ７章 ＳＯＩ技術
- ８章 ＵＬＳＩプロセシングにおける欠陥制御
「BOOKデータベース」 より