高純度シリコンの製造に関する研究

著者

• 佐野, 信雄 サノ, ノブオ
• 前田, 正史 マエダ, マサフミ

書誌事項

高純度シリコンの製造に関する研究

研究代表者前田正史 ; 研究分担者佐野信雄

前田正史, 1988

タイトル別名

昭和62年度科学研究費補助金試験研究(2)研究成果報告書,研究課題番号(61850121)

タイトル読み

コウジュンド シリコン ノ セイゾウ ニ カンスル ケンキュウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN06671831
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: 〔東京〕
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 26cm