イオン工学技術の基礎と応用

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イオン工学技術の基礎と応用

平尾孝 [ほか] 共著

工業調査会, 1992.4

Title Transcription

イオン コウガク ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ

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Note

その他の著者: 新田恒治, 三小田真彬, 早川茂

各章末: 参考文献

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 第１章　イオン工学技術の現状と展望
  • 第２章　イオン工学技術関連の基礎事項
  • 第３章　イオン注入技術
  • 第４章　イオンビームミキシング技術
  • 第５章　薄膜形成技術
  • 第６章　微細加工技術
  • 第７章　集束イオンビーム技術
  • 第８章　分析技術

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Details

  • NCID
    BN07785417
  • ISBN
    • 4769310943
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    viii, 274p
  • Size
    21cm
  • Classification
  • Subject Headings
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