防振制御ハンドブック
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防振制御ハンドブック
フジ・テクノシステム, 1992.12
- Title Transcription
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ボウシン セイギョ ハンドブック
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Note
索引: p997-1009
編集委員: 秋元將男ほか
執筆者: 大熊恒靖ほか
各章末: 参考・引用文献
Description and Table of Contents
Description
本書は、所謂シリコンのマイクロマシニングなどによる革新的な技術にその内容。
Table of Contents
- 第１編 基礎論（要素技術；材料）
- 第２編 微細加工技術（機械加工；マイクロ電気加工；機械部品加工のためのエッチング；真空蒸着；イオンプレーティング；ＣＶＤ、気相成長法；スパッタリング法；エッチング；シンクロトロン放射光等）
- 第３編 マイクロメカニズムの要素（コンベンショナルな手法によるマイクロ機械要素；新しい手法によるマイクロ機械要素；微小量の測定および評価）
- 第４編 マイクロメカニズム事例（センサ；マイクロメカニズム；バイオ・医学用への応用）
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